トーセーシステムズ

オンリーワンのオンリーワン トーセーシステムズとは?

トップクラスの世界シェアを有する
ACCRETECH製品の制御・組込ソフトを開発

トーセーシステムズは、「業界で唯一、計測技術を持つ」半導体製造装置メーカー/東京精密のグループ企業であり「グループ唯一のソフトウェア開発企業」という使命を担って、世界トップクラスのシェアを占める半導体製造装置と精密測定機器の制御・組込ソフトを開発しています。これが「オンリーワンのオンリーワンたる所以」です。
だから例えば主力製品のウェーハ・プロービングマシンでは、ロボットアームによる搬送やカメラを活用した画像認識を用いてシステム化。髪の毛一本分より微細な制御で、ウェーハとプローブ(触針)をピタッと合わせる機械制御を実現しています。
さらにウェーハ・ダイシングマシンポリッシュ・グラインダなど、最先端の半導体製造装置を動かすソフトウェアを開発。私たちトーセーシステムズのエンジニアは、1台が数千万円から数億円もするスーパーマシンに生命を吹き込む醍醐味を満喫しています。

ウェーハ・プロービングマシン

プロービングマシン。ウェーハ上に形成された半導体チップ(メモリ、CPU等)の電気的特性を試験するための装置

ウェーハ・ダイシングマシン

ダイシングマシン。ウェーハ上に形成された多数のメモリやCPU等を、1個1個のチップに切り分ける装置
 

ポリッシュ・グラインダ

ウェーハの薄片化とダメージ除去を1台で実現する、ACCRETECH独自の発想から生まれた装置
 

世界18の国と地域に75拠点・国内57拠点
ACCRETECHのグローバル・ネットワークと緊密に連携して活動

東京精密はACCRETECHブランドで世界市場に製品を供給しており、海外売上比率は73%に達します(2023年3月期実績)。そしてこれがそのまま、トーセーシステムズのグローバルな活躍フィールドを物語っています。
端的に説明すると、

スマホからEVまで、クラウドからAIまで、半導体無しに機器や技術は成り立たない
→世界各国の半導体メーカーが東京精密の装置を使って半導体を生産・供給
→そのニーズに応えるべく、東京精密は世界中に生産・販売・サービス網を拡大
→ソフト開発を担うトーセーシステムズも、このグローバル・ネットワークと連携しながらダイナミックに活動
という流れです。

「単なるシステム開発」とは違う、オンリーワンの存在
トーセーシステムズの制御・組込ソフト開発エンジニアの実像

毎日が新しいテーマや技術との出会い。
どこまでもスキルとキャリアを伸ばしていきたい。

ゲームのプログラムに興味があって情報工学を専攻したので、プログラミングに打ち込める企業を探して就職活動を進めました。当社のインターンシップに参加したところ、制御ソフトを利用してドローンを飛ばすという内容。楽しく取り組むなかで、目に見える形でモノを動かす組込系ソフト開発に魅力を感じました。
さらに先輩方との懇談会で、仕事のスタイルを伺うと、マシン室で実機を使用したデバッグを行ったり、案件ごとにチームで業務を分担し、コミュニケーションを取りながら活動したりと、ずっとデスクワークでない点が好印象でした。また、役職や年齢に関係なく気軽に話せると聞き、フランクな風土の会社だとイメージできたのも決め手でした。

入社後は、プローバのデータ管理と温度制御チームに所属しています。最初は特定の機能を実現するカスタマイズから担当。ステップを踏んで、制御・組込系プログラム設計のスキルを習得していきました。
5年目の現在はサブリーダーの立場で、協力会社エンジニア5人をまとめています。仕様検討の段階から参画して、エンジニアへの説明、業務分担、進捗管理など、自分でもソフト開発の手を動かしつつ、チームをマネジメントしています。

測定環境精度向上のため、温度センサを複数個に拡張し、測定ウェーハの面内温度分布をより正確に収集して温度制御するシステムを開発しました。複数のセンサから取得した温度を用いてどのように制御を行うか、既存動作への影響はないか等、課題をひとつひとつ解決しながらやり遂げました。
仕様決めから実装・実機デバッグまで、すべて任せてもらえるのがトーセーシステムズの働きがいです。何より、半導体の世界は絶えず進化を続けているため、毎日が新しいテーマとの出会いで興味が尽きません。私は最近ネットワークチームにも参加して、半導体製造装置の通信プロトコルを勉強しています。今後は自動化やビッグデータ、AIといった分野まで視野を広げつつ、海外出張や新装置の開発を体験し、どこまでもスキルとキャリアを伸ばしていくことを目指しています。

海外に出張し、客先スペシャル仕様のフルオートプローバ
ソフトの現地納入・試運転まで一貫して手がける

私のキャリアは入社してから24年間SE一筋。現在はマネージャーを務めていますが、最近もソフトを作成して、海外に出張し、あるプロジェクトを遂行しました。しかし、機密なので詳しくお話しできません。それよりも「トーセーシステムズの若手なら10年でここまでキャリアアップできる」とお伝えするほうが分かりやすいので、振り返ってみようと思います。
プローバはウェーハをセットすればフルオートで動作する装置ですが、測定最初のウェーハだけは、人がチェックする必要がありました。海外のお客様から最初のウェーハも完全自動化して、オペレータの負担軽減と人件費の低減を図りたいと要望されました。
お客様とやりとりするなかで、大がかりな修正が必要だと判明しました。プローバの針(触針)をウェーハの電極中心に落とすよう制御するソフトの開発でした。言葉にすればシンプルですが、複数の装置が稼動しており、一台ごとに微妙なクセがあったのです。マイクロオーダーの超微細な違いなのですが、既存の制御では合わせきれず、人の目でチェックし手動補正していたわけです。

金属製の装置だけに、装置自体が熱で膨張したり収縮したりといった変動も考慮する必要があります。画像チームに協力してもらい、針とウェーハの接点を画像で認識してデータ処理。どのくらいズレているか検知して補正をかけるアルゴリズムを考えました。
お客様の要求がソフトの広範囲に影響するため、仕様決めや作成したソフトの検証で非常に苦労しましたが、東京精密の評価部隊の手厚いサポートもあり、ソフトを持参しての出張立ち合い納入まで、何とかやり遂げることが出来ました。
この出張から10年以上経ちますが、メンバーには「トーセーシステムズのソフト開発はコミュニケーションなんだ」とよく話します。一人で黙々とコードを書く仕事ではなく、チームやグループの仲間、協力会社のエンジニア、顧客をよく知る東京精密の営業、ハードを設計開発するメカやエレキのエンジニア、そしてACCRETECHグループの海外や国内の拠点の方たちを含め、互いに活発に意見を出し合って進めるワークスタイルだからです。
内外のいろいろな方たちと触れ合う機会も増えますし、自然に人脈が広がり、知識もスキルも伸びます。ソフトウェアエンジニアとして、豊かに成長できる場がトーセーシステムズにはあると私は実感しています。

トーセーシステムズは自分の担当するシステムに対し、
「ほかの誰よりも詳しくありたい」という気持ちをもって開発に取り組む企業です。
そんな環境だからこそ、教育研修や技術取得に対する取り組みに力を入れています。
弊社のエンジニアは開発を通じてコミュニケーションを取りながら、生涯通じて成長し続けます。
 エンジニアとして「生涯を通じたシステム開発に携わりたい方」のエントリーをお待ちしております。

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